原子力顯微鏡探針是AFM實驗的核心配件。主要由如圖所示三部分組成，芯片、懸臂梁和其末端的針尖。 AFM探針的相關參數主要包括以下幾個： 1 探針的材料。AFM探針一般由硅（Si）或者（Si3N4）制成。由于硅材料相對堅硬，因此適合于制作相對短小、振動頻率高、彈性系數比較大的探針。而氮化硅材料相對柔軟，因此更適合于制作相對長、振動頻率低、彈性系數較小的探針。 2 懸臂梁背板的反光涂層。懸臂梁沒有針尖的一側稱為背板，是激光照射的位置。為了增加其反光性，通常會在其背板上鍍上一層金、鋁或者銅等的金屬層。另外由于裸硅在紅外及近紅外波段具有一定的透光性，其上下表面反射的激光會有干涉，因此沒有反光鍍層的懸臂梁除了激光信號弱以外，還會在采集力曲線時產生波浪形狀的基線。 用于磁驅動模式的探針涂層為磁性材料。 3 懸臂梁的形狀和個數。懸臂梁的形狀一般為三角形（Triangular or V）和矩形。又稱三角梁和一字梁。其中三角梁可以更好地控制法向方向的形變，而且工藝上也更容易制造出指定彈性系數的懸臂。而一字梁力學模型更為簡單，同時容易扭轉，因此更適合于測量摩擦力等相互作用力。 4 懸臂梁的尺寸。典型懸臂梁的長度在幾十微米至幾百微米之間，寬度一般為幾十微米，厚度一般為幾微米。懸臂梁的尺寸直接決定了懸臂梁共振頻率的